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          二手設備分類

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          愛銳精密科技大連有限公司地址
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          主要代理品牌匯總

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          CMP RETAINER RING

           

          CMP吸附膜

          CMP RETAINER RING 半導體生產用化學機械研磨法用保持環

          愛銳精密科技大連有限公司加工銷售半導體用高精密CMP RETAINER RING備件產品,可提供美國應用材料(AMAT),日本荏原(EBARA),SPEEDFAM, NOVELLUS,東京精密ACCRETEH等主要半導體設備商的及各小廠的6英寸,8英寸,12英寸的CMP RETAINER RING的反向設計及生產,精密高,產品質量穩定,世界各大廠商采用業績非富。



          產品介紹:

          AMAT設備為代理的樹脂與金屬結合型CMP RETAINER RING結構
          CMP RETAINER RING 結構圖

          主要構成:

          ?PPS樹脂部分采用以下三家廠商材料,

           與原廠保持一致,根據客戶需要提供材質。

           KUREHA(日本)

           QUADRANT TECHTRON(美國)

           ENSINGER(德國)

           其它材質PEEK樹脂,PET樹脂等也有使用,請 咨詢。

           

          ?金屬部分采用不銹鋼材料,SUS304,

          比原廠的SUS303更耐腐蝕。

          EBARA設備為代表為全樹脂型CMP RETAINER RING結構
          EBARA CMP RETAINER RING結構

          主要結構:

          ?全PPS樹脂結構,同樣采用以下三家廠商材料,

           與原廠保持一致。

           KUREHA(日本)

           QUADRANT TECHTRON(美國)

           ENSINGER(德國)

           其它材質PEEK樹脂,PET樹脂等也有使用,請 咨詢。

          特殊鎢制程用PEEK材質CMP RETAINER RING結構
          特殊鎢制程用CMP RETAINER RING

          主要構成:

          ?樹脂部分采用PEEK+40%炭素材料,

           硬度與耐磨性較PPS要好,消耗亦減少。

           

          ?金屬部分采用不銹鋼材料,SUS304,

          比原廠的SUS303更耐腐蝕。

           

           

          產品主要特點:

          CMP RETAINER RING鏡表檢查 CMP RETAINER RING背面平面研磨

          提供樹脂表面的鏡面拋光研磨:

          此項服務可以讓最終用戶的DUMMY研磨時間降低,同時降低相關耗材的消耗,節約客戶成本,提供客戶生產效率。

          上圖為表面鏡表研磨后采用特殊光學干涉檢查裝置,檢查拋光后的樹脂表面粗糙度照片,鏡表粗糙度(Mirror Surface roughness, )控制在Ra 0.588~0.881 (μm)

          提供背部的金屬或樹脂的平行度研磨:

          產品的上下表面的平行度會影響被研磨晶圓的精準度及晶圓加工過程中的各部位的研磨率,為保證被加工晶圓的精密度,出貨前做背部的平行研磨,車削產品件的精度平行度在50μm,背部平行研磨后的產品件的平行精度會隆到15μm,大大提高了被加工體的精密。

           

          可以提供的相關規格

          CMP RETAINER RING AMAT

          200MM AMAT設備用

          PPS與不銹鋼接合型

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING AMAT

          200MM AMAT設備用

          全PPS樹脂無溝槽型

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING PEEK材質

          200MM AMAT設備用

          PEEK+40%炭素材料

          與不銹鋼接合有溝槽型

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING PEEK材質

          200MM AMAT設備用

          PEEK+40%炭素材料

          與不銹鋼接合無溝槽型

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING PEEK

          150MM 全PEEK+40%炭素材料

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING PEEK

          200MM 全PEEK樹脂

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING PET材質

          200MM 全PET材質研磨用

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING PET

          150MM 全PET材質研磨用

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING PET-ETX

          200MM 全PET-ETX

          材質研磨用

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING PBT

          200MM 全PBT材質研磨用

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING NOVELLUS

          200MM NOVELLUS EXTENSION RING

          AURIGA SERIES

          有溝槽系列

          CMP RETAINER RING NOVELLUS

          200MM NOVELLUS EXTENSION RING

          AURIGA SERIES

          無溝槽系列

          CMP RETAINER RING NOVELLUS

          200MM NOVELLUS

          AURIGA GUIDE RING

           

          CMP RETAIENR RING NOVELLUS

          150MM NOVELLUS

          AURIGA GUIDE RING

          CMP RETAINER RING EBARA

          300MM EBERA G3

          全樹脂系列附密封橡膠

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING EBARA

          200MM EBARA

          全樹脂系列

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER REING EBARA

          200MM EBARA

          全樹脂系列

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING PETER WOLTER GUIDE RING 150MM PETER WOLTER GUIDE RING
          CMP RETAINER RING AMAT300

          300MM AMAT設備用

          PPS與不銹鋼接合型

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING EBARA300MM

          300MM EBARA G2

          全樹脂系列

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAIANER RING EBARA 300MM

          300MM EBARA G2S

          全樹脂系列

          CMP RETAINER RING

          CMP RETANER RING EBARA 300

          300MM EBARA PEEK+40%炭素

          CMP RETAINER RING

          CMP RETAINER RING AMAT 300MM AMAT MEMBRANE DIAPHRAGM CMP RETAINER RING SPEEDFAM 200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM
          CMP RETAINER RING SPEEDFAM 200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM 可以加工的設備商名:

          AMAT(MIRRA, REFREXTION),

          EBARA,NOVELLUS,

          ACCRETECH, SPEEDFAM,

          PETER WOLTER

                 

           

          加工料號舉例(以下料號以外有大量生產實績)

          300mm    C-3812-378-0001
          300mm    C-3812-431-0001
          200mm    C-3812-393-0001

          AMAT 300mm PPS + SUS                                              0040-62020

          1. AMAT 300mm Full PPS                                                   0040-88203
          2. AMAT 200mm PEEK+40%C (no glove)                     0040-33583
          3. AMAT 200mm PEEK+40%C                                           0040-51156

          0040-94632

            • AMAT 200mm Titan Head N                                        0040-79583
            • AMAT 200mm Titan Head HE                                      0040-80952
            • AMAT 200mm AEP                                                          0040-77243
            • AMAT 200mm AEP2                                                        0040-78263

             

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          相關技術介紹

          ?半導體IC芯片制造CMP制程介紹
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          天天红单